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    TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機

    簡(jiǎn)要描述：TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機，照明系統：冷光橢球鏡; 350W進(jìn)口直流高壓汞燈（德國歐司朗）; XYZ汞燈調節臺; 光學(xué)系統：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線(xiàn)濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風(fēng)扇

    • 產(chǎn)品型號：
    • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
    • 更新時(shí)間：2024-06-04
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：1513

    詳細介紹

    品牌其他品牌價(jià)格區間面議
    儀器種類(lèi)微流控芯片系統應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,電子
    產(chǎn)品名稱(chēng)：TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機
    主要技術(shù)指標：
       曝光場(chǎng)面積：20mm×20mm
       分辨力：2μm；
       照明不均勻性：±2%
       物鏡倍率：2.5倍(縮小)
       光源：350W球形汞燈（曝光譜線(xiàn)： i線(xiàn)）
       基片尺寸：4 英寸
       工件臺運動(dòng)范圍：X：>150mm、 Y：>150mm；
       工件臺運動(dòng)定位精度：±0.65μm
       調焦臺運動(dòng)靈敏度：1μm
       對準精度：±0.5μm
       調焦臺運動(dòng)行程：5mm
       檢焦：CCD檢測，檢測精度0.5微米
       轉動(dòng)臺行程：±4°以上
       基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應非標準片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm
    TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機主要技術(shù)配置：
    （1）照明系統：冷光橢球鏡;   350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗);   XYZ汞燈調節臺;   光學(xué)系統：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線(xiàn)濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風(fēng)扇
    （2）工件臺系統：X臺：電機驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵（美國）   Y臺：電機及驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光柵2（美國）   轉動(dòng)臺：電機及驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜），轉動(dòng)軸系 調平臺：電機及驅動(dòng)器（3套）、調平機構   Z臺：電機及驅動(dòng)器（日本樂(lè )孜）、絲杠、上升導向機構; 承片臺：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）
    （3）檢焦系統：焦面光學(xué)檢測系統、CCD、焦面檢測軟件
    （4）對準系統：對準光學(xué)檢測系統（2套）、CCD（2套）、對準軟件
    （5）電控系統：汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統、軟件、計算機、顯示器、接口
    （6）其他部件：底座 減震器（4個(gè));控制柜桌;氣動(dòng)系統;電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
    （7）其他附件：真空泵一臺(無(wú)油泵);空壓機一臺（靜音泵）;管道

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